ebara真空泵维修 ESR

详情描述：

ESR型适用于从负载锁定和SEM等轻型工艺到腐蚀性工艺的广泛应用。EB原已经认识到独立罗茨干式真空泵对能源效率，小尺寸和重量的需求。
型号※1
抽速
（L / min）
极限压力※2 
（Ｐａ）
ESR20N
1,300?2,000
2.0
ESR30
3,000
0.53
ESR30N
0.67
ESR80W
4,000?8,500
0.5
ESR80WN
0.2
ESR100WN
4,000?10,000
ESR200W
10,000?20,000
0.5
ESR200WN
0.13