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ESA型基于EBARA强大的罗茨泵技术构建。ESA200W型和更大型号适合LCD，光伏制造设备等行业中大容积腔室的快速抽空要求。ESA25-D型和ESA70W型干式真空泵是MO-CVD应用中安装量大的基础泵。ESA型干式真空泵还具有用于高气体负荷的智能旋转顺序和先进的互锁功能。
