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晶圆键合50um超薄晶圆需要临时键合

发布时间 2020-06-23 收藏 分享
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来源 深圳市衡鹏瑞和科技有限公司

详情描述:

【晶圆键合】50μm超薄晶圆需要临时键合

超薄晶圆键合机应用于晶圆临时性键合/解键合(Wafer Bonding/Debonding)工艺




超薄晶圆键合机(50μm)的特点:

4”-8”/8”-12”晶圆适用,支持极薄化晶圆的键合。

可选真空热压/UV/激光等键合方式

键合机智能测绘料篮内晶圆,兼容晶圆料篮、晶圆盒装卸料。

键合机支撑晶圆、产品晶圆进行自动对准

超薄晶圆键合机可自动完成晶圆键合(Wafer Bonding)工艺。

可选配晶圆键合后的在线检测功能

工控机 Windows系统

SECS/GEM 或简易联网能力




50μm超薄晶圆键合机规格:

贴片机                         Wafer Bonding系列

键合晶圆尺寸                 4”-8”/8”-12”

支持体基板                 玻璃

键合装置:真空热压/UV/激光 定制

粘贴装置                 搭载

晶圆盒形式                 兼容晶圆料篮、晶圆盒装卸料

其他                         SECS/GEM 或简易联网能力




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超薄晶圆支持系统/超薄晶圆临时键合/wafer bonding/wafer debonding/wafer bonder/wafer debonder/晶圆键合

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